Suomalainen 3D-testisiru puolijohdetuotantoon0

Tutkimuskeskus VTT:ltä ponnistava startup-yritys Chipmetrics on tuomassa markkinoille kolmiulotteisen PillarHall-testisirun uusien puolijohteiden ja muistipiirien kehitykseen.  Uudenlainen 3D-testisiru mahdollistaa entistä pienempien nanorakenteiden ja komponenttien valmistuksen.

Kolmiulotteisuus on piiritekniikan megatrendi, sillä sen avulla voidaan parantaa transistorien ja muistipiirien suorituskykyä ja energiatehokkuutta.  PillarHall-testisirua voi käyttää erilaisten 3D-ohutkalvoprosessien ja reaktorien vertailussa.

’’Menetelmä on poikkeuksellinen, sillä tyypillisesti mittausta on tehty suoraan prosessikiekolta vaativilla ja kalliilla mittalaitteilla. Testisirun avulla voidaan nopeuttaa prosessien kehittämistä ja myös monitoroida tuotantoa tulevaisuudessa”, kertoo Chipmetricsin perustaja, TkT Mikko Utriainen.

PillarHall-testisirun kehityksen taustalla on atomikerroskasvatuksen eli ALD:n huippututkimus Suomessa sekä VTT:n kokemus MEMS-valmistusprosesseista. Testisirua on kehitetty VTT:llä eri tutkimushankkeissa vuodesta 2013 alkaen. Kehitys ja jatkotuotanto tapahtuu edelleen VTT:llä Micronovassa Espoon Otaniemessä.

”VTT on patentoinut testisirun uniikin rakenteen ja kehittänyt tuotannolliset valmistusmenetelmät testisirujen tuotantoon. Nämä antavat hyvän teknologisen pohjan Chipmetricsin kasvulle globaaleilla markkinoilla”, kertoo VTT Mikroelektroniikan johtaja Tauno Vähä-Heikkilä.

Testisirun alkuvaiheen markkinan painopiste on atomikerroskasvatuksen avittaminen. Siksi ALD-laitteiden ja -prosessien kehittäjät sekä komponenttien valmistajat ovat ottaneet kehittäjäyrityksen mukaan testisirun vastaan suurella kiinnostuksella.

Lisäksi testipiiriratkaisulla voidaan kehittää mitä tahansa muutakin ohutkalvoprosessiteknologiaa, jolla vastataan 3D-vaatimuksiin.  VTT on jo ennakkoon koeponnistanut testisirua kansainvälisillä markkinoille ja nyt tätä kehitystä  voimistaa Chipmetrics, joka tähtää suoraan globaaliin liiketoimintaan.

Lisää: Chipmetrics Oy (LINKKI)